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Ein Interferometer oder eine Interferenzpositionsmessvorrichtung ist so aufgebaut, dass eine Niedrigkohärenzlichtquelle (Mehrmodushalbleiterlage) oder eine Vielzahl an Lichtquellen mit unterschiedlichen Wellenlängen als Lichtquelle verwendet wird, ein Lichtfluss in zwei Lichtflüsse bei einem Lichtübertragungselement geteilt wird, ein Lichtfluss (Referenzlichtfluss) zu einem an einem optischen Kopf befestigten Referenzspiegel ausgegeben wird und der andere Lichtfluss zu einem zu messenden Gegenstand ausgegeben wird, der sich bewegt oder der versetzt wird, wobei der jeweilige reflektierte Lichtfluss bei dem Übertragungselement so multipliziert wird, dass ein Interferenzlichtfluss erhalten wird, wobei ein Licht mit einer spezifischen Wellenlänge durch einen Wellenlängenwahlfilter extrahiert wird, durch den lediglich ein Licht mit einer spezifischen Wellenlänge so übertragen wird, dass es durch ein Lichtempfangselement erfasst wird.
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