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<p>Innerhalb eins Reinraums ist eine Lagereinrichtung (61) zur Lagerung von bei der Halbleiterfertigung verwendeten Produktbehältern (2) zur Aufnahme von Waferscheiben angeordnet. Die Lagereinrichtung (61) ist an ein innerbetriebliches Transportsystem für die Produktbehälter (2) angeschlossen. Um ungenutzte Bereiche des Reinraums für Lagerzwecke nutzbar zu machen und somit die Investitions- und Betriebskosten bei der Halbleiterfertigung zu reduzieren wird vorgeschlagen, daß die Lagereinrichtung (61) unterhalb der Reinraumdecke angeordnet ist.</p> |
