发明名称 Interferometer und interferometrisches Messverfahren
摘要 Die Erfindung betrifft ein Interferometer (1000) mit wenigstens einem Probenstrahlengang zur Bereitstellung von Licht in einem Probenstrahlbereich, wenigstens einem Referenzstrahlengang, wenigstens einer Einheit zur Überlagerung von Licht aus dem Probenstrahlbereich mit Licht aus dem Referenzstrahlengang und einer Einrichtung zur Erfassung einer Interferenzerscheinung von Licht aus dem Probenstrahlbereich und Licht aus dem Referenzstrahlengang, sowie ein Verfahren zur interferometrischen Bestimmung der Bewegungsgeschwindigkeit eines Objektes. Bei dem Interferometer (1000) ist eine räumliche Auflösung der Einrichtung zur Erfassung einer Interferenzerscheinung (1022) auf eine charakteristische Frequenz der Interferenzerscheinung abgestimmt. Indem zwei oder mehr Referenzstrahlengänge vorgesehen werden, hat das Interferometer einen großen Tiefenhub. Durch Auswerten der zeitlichen Änderung eines erfassten Interferenzsignals kann die Bewegung von Streuzentren vermessen werden. Die Ausrüstung eines Operationsmikroskops mit einem solchen Interferometer ermöglicht es, Bereiche eines Operationsgebietes sichtbar zu machen, welche mit Licht im sichtbaren Spektralbereich nicht zugänglich sind.
申请公布号 DE10157842(A1) 申请公布日期 2003.06.05
申请号 DE2001157842 申请日期 2001.11.24
申请人 CARL ZEISS 发明人 HAUGER, CHRISTOPH
分类号 G01P5/00;G01B9/02;G01B11/24;(IPC1-7):G01B9/02;G01B11/22;G01N21/45 主分类号 G01P5/00
代理机构 代理人
主权项
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