Verfahren zur Transmissionserhöhung an einer mit Ionenstrahlung reparierten Stelle auf einer Photomaske mittels thermischer Desorption

摘要

Erfindungsgemäß ist ein verbessertes Verfahren zur Reparatur eines Quarzblanks bereitgestellt, wobei zunächst mittels eines Ionenstrahls mit Gallium-Ionen eine Opaque-Chrom-Reparatur durchgeführt wird, und anschließend mittels eines Veraschungsprozesses durch thermische Desorption die Gallium-Ionen aus dem Quarzblank entfernt werden.