发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM KONTROLLIERTEN AUFBRINGEN VON PARTIKELN AUF WAFERS
摘要
申请公布号 DE69528266(T2) 申请公布日期 2003.06.05
申请号 DE19956028266T 申请日期 1995.06.19
申请人 MSP CORP., MINNEAPOLIS 发明人 LIU, BENJAMIN Y.H.
分类号 B05D1/06;B05B5/08;B05B12/02;B05C11/00;B05D1/12;H01L21/00;H01L21/316;(IPC1-7):B05D1/12;B05D1/04;B05C11/02 主分类号 B05D1/06
代理机构 代理人
主权项
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