| 发明名称 |
COMPOSITION FOR CLEANING CHEMICAL MECHANICAL PLANARIZATION APPARATUS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1315792(A2) |
申请公布日期 |
2003.06.04 |
| 申请号 |
EP20010959526 |
申请日期 |
2001.08.03 |
| 申请人 |
EKC TECHNOLOGY, INC. |
发明人 |
SMALL, ROBERT, J.;LEE, JOO-YUN |
| 分类号 |
C11D1/68;C11D3/20;C11D3/30;C11D11/00;C23G1/06;C23G1/18;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):C11D11/00;C11D1/66;C11D3/02;C11D7/26 |
主分类号 |
C11D1/68 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
