| 发明名称 | 晶圆加工设备的机台基座结构 | ||
| 摘要 | 一种晶圆加工设备的机台基座结构，主要包括由金属构成的金属骨架，其特征在于：金属骨架是由外围的金属框体和固定在金属框体内部的内部金属骨架构成一整式结构，内部金属骨架是由复数根钢筋相连而成，在金属框体的内部和外周利用模具及填充物灌注形成的填充体与金属框体及内部金属骨架构成一实心的整体式基座，该基座内部空间充满凝固的填充物，不但使基座刚性、强度大为提高，而且重量加大后，使基座更具稳定性。 | ||
| 申请公布号 | CN2554797Y | 申请公布日期 | 2003.06.04 |
| 申请号 | CN02241512.2 | 申请日期 | 2002.07.15 |
| 申请人 | 陈水源;陈水生;陈添丁 | 发明人 | 陈水源;陈水生;陈添丁 |
| 分类号 | H01L21/02 | 主分类号 | H01L21/02 |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 陈践实 |
| 主权项 | 1、一种晶圆加工设备的机台基座结构，主要包括由金属构成的金属骨架，其特征在于：金属骨架是由外围的金属框体和固定在金属框体内部的内部金属骨架构成一整式结构，内部金属骨架是由复数根钢筋相连而成，在金属框体的内部和外周利用模具及填充物灌注形成的填充体与金属框体及内部金属骨架构成一实心的整体式基座。 | ||
| 地址 | 台湾省新竹市 | ||