多路可扩展的微机械式光开关阵列

摘要

一种多路可扩展的微机械式光开关阵列，其特征是该光开关阵列由一个基板(1)、m×n个微反射单元(2)、一个盖板(3)、m个输出准直器(4)、n个输入准直器(5)构成，微反射单元(2)由轴(2a)、轴承(2b)、摆杆(2c)、微镜(2d)、线圈(2e)、永久磁铁(2f)组成。同现有技术比较，本实用新型的突出优点是：集成度高，体积小，光路转换准确可靠，不受光波波长限制，工作稳定，切换速度快，易扩展成为多路光开关阵列，工艺简单，有利于大批量生产，特别适合于宽带高速大容量综合业务数字网的全光网络中光信号的切换和互联的场合。

主权项

1.一种多路可扩展的微机械式光开关阵列，包括基板，输出准直器，输入准直器，其特征在于：该光开关阵列由一个基板(1)、m×n个微反射单元(2)、一个盖板(3)、m个输出准直器(4)、n个输入准直器(5)构成，其中基板(1)上开有凹槽(1a)，微反射单元(2)由轴(2a)、轴承(2b)、摆杆(2c)、微镜(2d)、线圈(2e)、永久磁铁(2f)组成，两端装有轴承(2b)的轴(2a)布置在凹槽(1a)上，轴承(2b)与基板(1)固定连接，摆杆(2c)的下端部固定在轴(2a)上，微镜(2d)固定在摆杆(2c)的上端部，线圈(2e)固定在基板(1)上，永久磁铁(2f)布置在线圈(2e)的顶部；盖板(3)上开有m×n个与微反射单元(2)位置相对应的通孔，盖板(3)固定在基板(1)上，m个输出准直器(4)和n个输入准直器(5)有序地布置在盖板(3)上，m和n为正整数。