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发明名称 Zeeman-ellipsometer.
摘要
申请公布号 NL194893(C) 申请公布日期 2003.06.04
申请号 NL19920002303 申请日期 1992.12.31
申请人 TECHNISCHE UNIVERSITEIT DELFT 发明人 KLAAS HEMMES;MAURITS MATTHIJS WIND;RUDOLF LEPOOLE;PHILIP ERNST HABING
分类号 G01J9/04;G01N21/21;(IPC1-7):G01N21/21 主分类号 G01J9/04
代理机构 代理人
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