发明名称 | 半导体测试器件的测试板分割装置 | ||
摘要 | 本发明是一种半导体测试器件的测试板分割装置,包括一分割有一个以上区域的测试板及一个以上的受测器件(DUT),其是将受测器件设在测试板的相对区域上,并有其接地点,使进行测试时,能降低噪声干扰,进而提高该半导体测试器件在测试时的准确度。 | ||
申请公布号 | CN1421705A | 申请公布日期 | 2003.06.04 |
申请号 | CN01134981.6 | 申请日期 | 2001.11.23 |
申请人 | 陈文祺 | 发明人 | 陈文祺 |
分类号 | G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66 | 主分类号 | G01R31/26 |
代理机构 | 北京集佳专利商标事务所 | 代理人 | 王学强 |
主权项 | 1.一种半导体测试器件的测试板分割装置,包括:一分割有一个以上区域的测试板;一个以上的受测器件(DUT),设在测试板的相对区域上,并有其接地点,使进行测试时,能降低噪声干扰,进而提高该半导体测试器件在测试时的准确度。 | ||
地址 | 中国台湾 |