发明名称 半导体测试器件的测试板分割装置
摘要 本发明是一种半导体测试器件的测试板分割装置,包括一分割有一个以上区域的测试板及一个以上的受测器件(DUT),其是将受测器件设在测试板的相对区域上,并有其接地点,使进行测试时,能降低噪声干扰,进而提高该半导体测试器件在测试时的准确度。
申请公布号 CN1421705A 申请公布日期 2003.06.04
申请号 CN01134981.6 申请日期 2001.11.23
申请人 陈文祺 发明人 陈文祺
分类号 G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 北京集佳专利商标事务所 代理人 王学强
主权项 1.一种半导体测试器件的测试板分割装置,包括:一分割有一个以上区域的测试板;一个以上的受测器件(DUT),设在测试板的相对区域上,并有其接地点,使进行测试时,能降低噪声干扰,进而提高该半导体测试器件在测试时的准确度。
地址 中国台湾