| 发明名称 |
ELECTROSTATIC CHUCK WITH POROUS REGIONS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1316110(A2) |
申请公布日期 |
2003.06.04 |
| 申请号 |
EP20010955029 |
申请日期 |
2001.08.01 |
| 申请人 |
SAINT-GOBAIN CERAMICS & PLASTICS, INC. |
发明人 |
DIVAKAR, RAMESH |
| 分类号 |
C04B38/00;C23C16/458;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
C04B38/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
