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发明名称 SMART LOAD PORT WITH INTEGRATED CARRIER MONITORING
摘要
申请公布号 EP1316050(A2) 申请公布日期 2003.06.04
申请号 EP20010963957 申请日期 2001.08.14
申请人 ASYST TECHNOLOGIES, INC. 发明人 MARTIN, RAYMOND, S.
分类号 G06F19/00;H01L21/66;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/673;H01L21/677;(IPC1-7):G06F19/00 主分类号 G06F19/00
代理机构 代理人
主权项
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