发明名称
摘要
申请公布号 JP3411986(B2) 申请公布日期 2003.06.03
申请号 JP19960087604 申请日期 1996.03.13
申请人 发明人
分类号 C23F1/00;B26F3/00;H01J9/14;(IPC1-7):H01J9/14 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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