| 主权项 |
1.一种混酸系统之计量杯,包含:一小口径之第一构件,用于输入混酸组成成份或去离子水,且其表面具有一量测点;一大口径之第二构件,连接于该第一构件;以及一小口径之第三构件,连接于该第二构件,用于输出该混酸组成成份或去离子水。2.如申请专利范围第1项之混酸系统之计量杯,其中该第一构件、第二构件和第三构件系以一体成型之方式制造。3.如申请专利范围第1项之混酸系统之计量杯,其中该第一构件、第二构件和第三构件系以机构卡榫固接方式组成。4.如申请专利范围第1项之混酸系统之计量杯,其中该混酸组成成份系一CMP(化学机械研磨)制程之研磨剂。5.如申请专利范围第1项之混酸系统之计量杯,其中该第三构件输出该混酸组成成份或去离子水至一控制阀。6.如申请专利范围第1项之混酸系统之计量杯,其中该量测点系以光电开关、近接开关、超音波开关或浮子式开关的量测方法进行量测。7.如申请专利范围第1项之混酸系统之计量杯,其中该第二构件为圆筒型或方筒形。8.如申请专利范围第1项之混酸系统之计量杯,其中该第一构件为长条型。图式简单说明:图1系一习知之混酸系统之计量杯;图2系另一习知之混酸系统之计量杯;图3系本创作之混酸系统之计量杯之一实施例;及图4系本创作之混酸系统之计量杯之另一实施例。 |
