发明名称 |
PROCEDE DE FABRICATION D'UNE STRUCTURE A MEMBRANE MICRO-USINEE |
摘要 |
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申请公布号 |
FR2822817(B1) |
申请公布日期 |
2003.05.30 |
申请号 |
FR20010004174 |
申请日期 |
2001.03.28 |
申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
GRANGE HUBERT;ASPAR BERNARD;BOREL MICHEL;ZUSSY MARC |
分类号 |
B81B3/00;B81C1/00;G01L9/00;(IPC1-7):B81C1/00;G12B1/04 |
主分类号 |
B81B3/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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