发明名称 PROCEDE DE FABRICATION D'UNE STRUCTURE A MEMBRANE MICRO-USINEE
摘要
申请公布号 FR2822817(B1) 申请公布日期 2003.05.30
申请号 FR20010004174 申请日期 2001.03.28
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 GRANGE HUBERT;ASPAR BERNARD;BOREL MICHEL;ZUSSY MARC
分类号 B81B3/00;B81C1/00;G01L9/00;(IPC1-7):B81C1/00;G12B1/04 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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