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发明名称 METHOD FOR SELECTIVE ETCHING OF OXIDES
摘要
申请公布号 EP1314192(A2) 申请公布日期 2003.05.28
申请号 EP20010964492 申请日期 2001.08.29
申请人 MICRON TECHNOLOGY, INC. 发明人 HINEMAN, MAX, F.;TOREK, KEVIN, J.
分类号 H01L21/3065;H01L21/306;H01L21/311;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/311 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
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