发明名称 Method of depositing a platinum film for capacitor electrode
摘要
申请公布号 EP0855738(B1) 申请公布日期 2003.05.28
申请号 EP19980400033 申请日期 1998.01.09
申请人 TONG YANG CEMENT CORPORATION 发明人 PARK, DONG YEON;LEE, DONG SU;WOO, HYUN JUNG;CHUN, DONG IL;YOON, EUI JUN
分类号 C23C14/14;C23C14/16;C23C14/58;H01L21/02;H01L21/285;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 C23C14/14
代理机构 代理人
主权项
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