| 发明名称 |
Reference wafer supervising and management system on a semiconductor device production line, and recording medium |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2382463(A) |
申请公布日期 |
2003.05.28 |
| 申请号 |
GB20020022654 |
申请日期 |
2000.12.22 |
| 申请人 |
* NEC CORPORATION;* NEC ELECTRONICS CORPORATION |
发明人 |
YUTAKA * SUGIKAWA |
| 分类号 |
H01L21/00;(IPC1-7):G06F19/00;G05B15/02;H01L21/02;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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