Optisches Vergrößerungseinstellsystem und Projektionsbelichtungsvorrichtung

摘要

Das optische Vergrößerungseinstellsystem, das zum minuziösen Korrigieren des Abbildungsmaßstabes fähig ist, weist zwei Linsen (1, 2) auf, von denen die erste Linse (1) plankonvex ist und auf der Seite einer Objektoberfläche (5) angebracht ist und die zweite Linse (2) konkavplan ist und auf der Seite einer aufgebauten Bildoberfläche (7) angebracht ist. Durch Steuern des Mittenzwischenraumes (d) zwischen der ersten Linse und der zweiten Linse wird das Bild vergößert oder verkleinert. Die Krümmungsradien R2 und R3 der konvexen Oberfläche der ersten Linse bzw. der konkaven Oberfläche der zweiten Linse werden entsprechend den folgenden Gleichungen eingerichtet: DOLLAR A R2 = (1 - n1)/ DIAMETER 2 DOLLAR A R3 = (n2 - 1)/ DIAMETER 3, DOLLAR A wobei DIAMETER 2 bzw. DIAMETER 3 optische Brechkräfte und DOLLAR A n1 bzw. n2 Brechungsindexe darstellen. DOLLAR A Alternativ kann die erste Linse plankonkav und die zweite Linse konvexplan ausgebildet sein. DOLLAR A Das optische Vergrößerungseinstellsystem lässt sich in Projektionsbelichtungsvorrichtungen zum Abdrucken eines Schaltungsmusters auf eine gedruckte Leiterplatte bei der Leiterplattenherstellung verwenden.