| 摘要 |
Ein kapazitiver Feuchtigkeitssensor enthält ein Paar von gegenüberliegenden Elektroden (31, 32) auf einem Substrat (10). Ein feuchtigkeitsempfindlicher Film (50) bedeckt die Elektroden. Die Elektroden sind kammförmig und greifen ineinander. Feuchtigkeit wird auf der Grundlage der Kapazität zwischen den im Paar vorkommenden Elektroden erfaßt, welche sich mit Änderungen der Feuchtigkeit in der Atmosphäre ändert. Die gleichförmige Breite jedes Zahns in dem Paar von Elektroden wird mit L1 bezeichnet, und der gleichförmige Abstand zwischen einem Zahn einer der Elektroden und einem Zahn der anderen Elektrode wird mit L2 bezeichnet. Wenn L1 kleiner als 3 mum ist, beträgt L2 5 mum. Wenn L1 größer oder gleich 3 mum ist, ist L2 kleiner oder gleich 5 mum.
|
