| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR THE DEPOSITION OF, IN PARTICULAR, CRYSTALLINE LAYERS ON, IN PARTICULAR, CRYSTALLINE SUBSTRATES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1313897(A1) |
申请公布日期 |
2003.05.28 |
| 申请号 |
EP20010957962 |
申请日期 |
2001.07.13 |
| 申请人 |
AIXTRON AG |
发明人 |
JUERGENSEN, HOLGER;STRAUCH, GERD;KAEPPELER, JOHANNES |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;C30B25/14;C30B29/36;H01L21/205;(IPC1-7):C30B25/14 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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