Verfahren und Gerät zur Energiestrahlbearbeitung,申请号DE19956030452-传众专利搜索

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发明名称	Verfahren und Gerät zur Energiestrahlbearbeitung
摘要
申请公布号	DE69530452(D1)	申请公布日期	2003.05.28
申请号	DE19956030452	申请日期	1995.09.22
申请人	EBARA CORP., TOKIO/TOKYO;HATAMURA, YOTARO	发明人	HATAKEYAMA, MASAHIRO;ICHIKI, KATSUNORI;KOBATA, TADASUKE;NAKAO, MASAYUKI;HATAMURA, YOTARO
分类号	H01J37/305;(IPC1-7):H01J37/305;C03C23/00;H01J37/31	主分类号	H01J37/305
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