静电致动器及其驱动方法

摘要

本发明提供一种廉价而且无损于大量生产性，具有充分发生力的静电致动器。第1和第2的定子(12)、(13)互相对置配置，第1和第2的定子之间配置有转子(11)使之在规定方向可动。这些定子上，设置在规定方向大体以同一间距顺序排列具有同一宽度的定子电极而成的电极组在转子上配置具有比构成电极群的各定子电极的宽度大的沿上述规定方向的宽度的转子电极。对电极组的定子电极，施加不同定时的第1和第2的电压信号图形，用其一方在上述规定方向驱动上述转子时，把该一方确定为驱动信号。

主权项

1.一种静电致动器，具备：具备在规定方向顺序排列至少3系统以上的电极而构成的第1电极组的第1定子；介以规定的空间与上述第1定子对置设置，具备在规定方向顺序排列至少3系统以上的电极而构成的第2电极组的第2定子；在上述空间配置成相对于上述规定方向能移动，具有与上述第1和第2电极组对置的第1和第2的转子电极部的转子；以及发生多种不同的电压信号图形，通过用该多种电压信号图形的任一个，给上述第1和第2电极组的定子电极施加电压信号，从而在上述规定方向上驱动上述转子的电压信号发生部件，上述电压信号发生部件包括：检测上述转子移动的检测部件；响应上述检测部件的检测，设定上述多种电压信号图形的任一种的设定部件；以及生成上述设定的电压信号图形的开关部件。