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Ein Verfahren für die Herstellung eines Metall-Isolator-Metall-Kondensators (MIMCap) (36) umfasst die Herstellung von ersten elektrischen Leitungen (15), einem Kondensatordielektrikum (26) und zweiten elektrischen Leitungen (28). Der MIMCap (36) enthält horizontale kapazitive Abschnitte (32) und vertikale kapazitive Abschnitte (34). Das Verfahren umfasst die folgenden Schritte: Bilden erster elektrischer Leitungen (15) in einer ersten Isolierschicht (14) eines Wafers (10), Abscheiden einer zweiten Isolierschicht (22), Abscheiden eines Resists, Entfernen von Abschnitten des Resists, Entfernen von freigelegten Abschnitten der zweiten Isolierschicht (22) und von Abschnitten der ersten Isolierschicht (14), Entfernen des verbleibenden Resists und dann Abscheiden eines Kondensatordielektrikums (26) und zweiter elektrischer Leitungen (28).
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