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Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Testen bzw. zur Ermittlung einer Charakteristik einer ferroelektrischen Spelcherzelle, welches sich alleine oder mit mehreren Speicherzellen auf einem Chip befindet sowie Chips, welche im oben genannten Verfahren Anwendung finden. Das erfindungsgemäße Verfahren kann zur Überprüfung auf Funktionstüchtigkeit hergestellter Chips mit ferroelektrischen Speicherzellen und zur Prototypenentwicklung eingesetzt werden. Im erfindungsgemäßen Verfahren werden in geschickter Weise Spannungen an die Leitungen des Chips angelegt, so dass der sich daraus ergebende Strom Rückschlüsse auf das Hysterese- und damit Speicherverhalten einer ferroelektrischen Speicherzelle ermöglicht. Das erfindungsgemäße Verfahren ermöglicht somit einerseits den messtechnischen Zugang zu einer einzelnen Speicherzelle, andererseits kann ferner die Auswirkung der anderen Bauteile der Speicherzelle sowie des Layouts des gesamten Chips auf das Speicherverhalten einer einzelnen Speicherzelle ermittelt werden. <IMAGE> <IMAGE>
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