发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER CONTAINER CLEANING APPARATUS
摘要
申请公布号 EP1313573(A2) 申请公布日期 2003.05.28
申请号 EP20010984548 申请日期 2001.06.20
申请人 SEMITOOL, INC. 发明人 BEXTEN, DANIEL, P.;NORBY, JERRY, R.;BRYER, JAMES
分类号 H01L21/304;B08B3/02;B08B3/12;B08B9/08;B08B9/32;H01L21/00;(IPC1-7):B08B3/02;B08B5/02 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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