Fluideinspritzkopfstruktur und Verfahren dafür

摘要

Eine Fluideinspritzkopfstruktur (10) und ein Verfahren zur Herstellung derselben werden bereitgestellt. Die Fluideinspritzkopfstruktur (10) wird auf einem Substrat (60) ausgebildet und weist darin einen Rohrverteiler (11), Blasengeneratoren (14), eine Leiterbahn (19) und mindestens zwei Reihen von Kammern (16) benachbart zum Rohrverteiler (11) in Strömungsverbindung mit dem Rohrverteiler (11) auf. Die Leiterbahn (19), die auf einer oberen Oberfläche des Substrats (60) angeordnet ist und teilweise zwischen den zwei Reihen der Kammern (16) oberhalb des Rohrverteilers (11) angeordnet ist, wird zum Ansteuern des Blasengenerators (14) verwendet.