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发明名称 EDGE GRIPPING END EFFECTOR WAFER HANDLING APPARATUS
摘要
申请公布号 EP1313662(A2) 申请公布日期 2003.05.28
申请号 EP20000926507 申请日期 2000.05.03
申请人 ADE CORPORATION 发明人 MANKAME, ANIL;FLORINDI, ANTHONY;GOODMAN, FREDRICK, ARNOLD
分类号 B25J15/08;B66F1/00;B65G49/07;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/687;(IPC1-7):B66F1/00 主分类号 B25J15/08
代理机构 代理人
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