| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR GENERATING INDIUM ION BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG96258(A1) |
申请公布日期 |
2003.05.23 |
| 申请号 |
SG20010006937 |
申请日期 |
2001.11.09 |
| 申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO., LTD. |
发明人 |
TAKATOSHI YAMASHITA |
| 分类号 |
C23C14/32;C22B4/00;C22B4/08;C22B58/00;C23C14/22;C23C14/24;H01J27/02;H01J37/08;(IPC1-7):C22B4/08 |
主分类号 |
C23C14/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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