| 发明名称 |
METHOD OF FABRICATING A POLY-POLY CAPACITOR WITH A SIGE BICMOS INTEGRATION SCHEME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG96266(A1) |
申请公布日期 |
2003.05.23 |
| 申请号 |
SG20010007801 |
申请日期 |
2001.12.13 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
DOUGLAS DUANE COOLBAUGH;JAMES STUART DUNN;STEPHEN ARTHUR ST. ONGE |
| 分类号 |
H01L27/04;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8222;H01L21/8248;H01L21/8249;H01L27/06;(IPC1-7):H01L21/822 |
主分类号 |
H01L27/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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