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发明名称 METHOD OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURE
摘要
申请公布号 SG96188(A1) 申请公布日期 2003.05.23
申请号 SG20000003368 申请日期 2000.06.15
申请人 KHIM SWEE YONG;KAPOOR RAHUL;HWA GOH HIN 发明人 SWEE YONG KHIM;RAHUL KAPOOR;GOH HIN HWA
分类号 H01L21/58;H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/58 主分类号 H01L21/58
代理机构 代理人
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