| 发明名称 |
MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND SUBSTRATE-TREATING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2003151909(A) |
申请公布日期 |
2003.05.23 |
| 申请号 |
JP20010347628 |
申请日期 |
2001.11.13 |
| 申请人 |
HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC |
发明人 |
OZAKI TAKASHI;SUZAKI KENICHI;MIZUNO KANEKAZU |
| 分类号 |
C23C14/50;C23C16/44;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23C14/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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