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发明名称 SUBSTRATE TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 JP2003151878(A) 申请公布日期 2003.05.23
申请号 JP20010345005 申请日期 2001.11.09
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 NAKAJIMA SEIJI
分类号 B65G49/00;H01L21/027;H01L21/66;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 B65G49/00
代理机构 代理人
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