发明名称 DEVICE FOR TREATING A DISC-SHAPED OBJECT
摘要
申请公布号 SG96222(A1) 申请公布日期 2003.05.23
申请号 SG20010002972 申请日期 2001.05.17
申请人 SEZ AG 发明人 JOHANNES LINDNER
分类号 H01L21/306;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/302;H01L21/68 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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