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发明名称 Laserkristallisation eines amorphen Siliziumfilms für einen TFT
摘要
申请公布号 DE69720856(D1) 申请公布日期 2003.05.22
申请号 DE1997620856 申请日期 1997.06.02
申请人 SANYO ELECTRIC CO., LTD. 发明人 YONEDA, KIYOSHI
分类号 G02F1/136;G02F1/1362;G02F1/1368;H01L21/20;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 G02F1/136
代理机构 代理人
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