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发明名称 Rasterelektronenmikroskop
摘要
申请公布号 DE69623841(T2) 申请公布日期 2003.05.22
申请号 DE19966023841T 申请日期 1996.03.29
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 KOBARU, ATSUSHI;OTAKA, TADASHI;MAEDA, TATSUYA;SASADA, KATSUHIRO
分类号 H01J37/20;H01J37/21;H01J37/22;H01J37/244;(IPC1-7):H01J37/22 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
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