发明名称 Interferometer mit Grob- und Feineinstellung
摘要
申请公布号 DE69627541(D1) 申请公布日期 2003.05.22
申请号 DE1996627541 申请日期 1996.05.30
申请人 NORTHROP GRUMMAN CORP., LOS ANGELES 发明人 HAAS, EDWIN G.;HILGEMAN, THEODORE W.;RYAN, ROBERT E.
分类号 G01B9/02;G01J3/26;(IPC1-7):G01B9/02;G01N21/45 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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