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发明名称
Interferometer mit Grob- und Feineinstellung
摘要
申请公布号
DE69627541(D1)
申请公布日期
2003.05.22
申请号
DE1996627541
申请日期
1996.05.30
申请人
NORTHROP GRUMMAN CORP., LOS ANGELES
发明人
HAAS, EDWIN G.;HILGEMAN, THEODORE W.;RYAN, ROBERT E.
分类号
G01B9/02;G01J3/26;(IPC1-7):G01B9/02;G01N21/45
主分类号
G01B9/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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