发明名称 Ohmscher Kontakt zu einer n-leitenden GaN-artigen Halbleiterverbindung und dessen Herstellungsmethode
摘要
申请公布号 DE69715544(T2) 申请公布日期 2003.05.22
申请号 DE19976015544T 申请日期 1997.10.06
申请人 TOYODA GOSEI CO., LTD. 发明人 UEMURA, TOSHIYA;SHIBATA, NAOKI
分类号 H01L21/302;H01L21/285;H01L21/3065;H01L33/06;H01L33/32;H01L33/42;H01S5/042;H01S5/323;(IPC1-7):H01L33/00;H01S5/02 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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