| 主权项 |
1.一种阀门开关动作之控制系统,至少包括:复数个阀门;复数个气压缸,每一气压缸系用以连动每一阀门之开关动作;一气压系统,系用以驱动该气压缸而连动该阀门之开关动作;一操作面板,系电连接至该气压系统,该操作面板用以使一操作者起始控制该复数个阀门之开关动作;复数个印刷电路板;以及一控制盒,系藉由该印刷电路板电连接至该气压系统,该控制盒包含有一模式选择开关、一阀门选择开关与一确认按钮,藉以使该操作者欲控制一第一阀门之开关动作时,必须先切换该模式选择开关之第一模式至第二模式,且切换该阀门选择开关之第二阀门选择键至第一阀门选择键,并由该操作面板起始控制该第一阀门之开关动作,然后按压该确认按钮才得以再次确认控制该第一阀门之开关动作。2.如申请专利范围第1项之阀门开关动作之控制系统,其中该系统更包括有一触动装置。3.如申请专利范围第2项之阀门开关动作之控制系统,其中该触动装置包含有一触动开关,该触动装置系经由该触动开关电连接至该控制盒。4.如申请专利范围第3项之阀门开关动作之控制系统,其中该触动开关之电路系与该第二模式之电路串联。5.如申请专利范围第2项之阀门开关动作之控制系统,其中该触动装置系为一蚀刻机台之一负载室之上盖。6.如申请专利范围第5项之阀门开关动作之控制系统,其中该操作面板系为该蚀刻机台之操作面板。7.如申请专利范围第1项之阀门开关动作之控制系统,其中该第一模式系为自动操作模式。8.如申请专利范围第1项之阀门开关动作之控制系统,其中该第二模式系为周期性维护模式。9.一种阀门开关动作之控制系统,至少包括:复数个阀门;复数个气压缸,每一气压缸系用以连动每一阀门之开关动作;一气压系统,系用以驱动该气压缸而连动该阀门之开关动作;一操作面板,系电连接至该气压系统,该操作面板用以使一操作者起始控制该复数个阀门之开关动作;复数个印刷电路板;一控制盒,系藉由该印刷电路板电连接至该气压系统,该控制盒包含有一模式选择开关、一阀门选择开关与一确认按钮;以及一触动装置,系经由一触动开关电连接至该控制盒,藉以使该触动装置被触发后而该操作者欲控制一第一阀门之开关动作时,必须先经由该操作面板起始控制该第一阀门之开关动作,且切换该阀门选择开关之第二阀门选择键至第一阀门选择键,再按压该确认按钮才得以再次确认控制该第一阀门之开关动作。10.如申请专利范围第9项之阀门开关动作之控制系统,其中该触动装置系为一蚀刻机台之一负载室之上盖。11.如申请专利范围第10项之阀门开关动作之控制系统,其中该触动开关之电路系与该模式选择开关之一第一模式之电路串联。12.如申请专利范围第11项之阀门开关动作之控制系统,其中该第一模式系为周期性维护模式。13.如申请专利范围第10项之阀门开关动作之控制系统,其中该操作面板系为该蚀刻机台之操作面板。图式简单说明:第1图为绘示习知技术阀门开关动作之控制系统架构示意图;第2图为绘示习知技术之电子阀是否让加压乾空气通过管路,以控制阀门开关动作之示意图;第3图为绘示本发明阀门开关动作之控制系统架构示意图;第4图为绘示本发明控制盒之电路图;第5图为绘示本发明印刷电路板之电路图;以及第6图为绘示本发明之电子阀是否让加压乾空气通过管路,以控制阀门开关动作之示意图。 |
