蚀刻法用于制造流体轴承

摘要

本发明所揭露之蚀刻法，系用于制造流体轴承；本发明系利用一射出用心轴作为轴承素材的光罩(mask)，并注入保护材料于流体轴承的内径部分产生保护图案；拔出射出用心轴之后再对轴承素材进行蚀刻于其内径部分形成所需的油沟；最后清洗蚀刻液以及去除其保护图案；本发明容易整合至现有制程，以及达到大量生产并降低成本的功效；此外，本发明可避免知加工技术会产生的毛边问题并且同时制造流体轴承的径向与止推部分，可产生简化制程的效果。

主权项

1.一种蚀刻法,系用于制造流体轴承,其步骤包含有:提供一轴承素材,系具有一中空圆柱状壁面;提供一射出用心轴,系对位该轴承素材以伸入并贴合该中空圆柱状壁面,该射出用心轴具有于该中空圆柱状壁面待刻画复数个油沟的位置形成对应的复数个凸纹,且该复数个凸纹系紧贴于该中空圆柱状壁面;于该复数个凸纹之间注入具流动性之一保护材料,填满该复数个凸纹与该中空圆柱状壁面的间隙;使该保护材料凝固于该中空圆柱状壁面以形成复数个保护图案;将该射出用心轴拔出该轴承素材,分离该射出用心轴与该中空圆柱状壁面之该复数个保护图案;将该轴承素材置入一蚀刻液,使该轴承素材未覆盖该复数个保护图案之处产生蚀刻以形成该复数个油沟;清洗该蚀刻液;及去除该复数个保护图案。2.如申请专利范围第1项所述之蚀刻法,其中该轴承素材系由一耐磨耗之金属制成。3.如申请专利范围第1项所述之蚀刻法,其中该保护材料系为一塑胶材料。4.如申请专利范围第1项所述之蚀刻法,其中该复数个凸纹系为复数个螺纹。5.如申请专利范围第3项所述之蚀刻法,其中该塑胶材料系以射出成形方式注入该复数个凸纹与该中空圆柱状壁面的间隙。6.如申请专利范围第1项所述之蚀刻法,其中该复数个凸纹的凸出高度系为10微米(m)至100微米(m)。7.如申请专利范围第1项所述之蚀刻法,其中该复数个油沟之蚀刻精度与深度系由该蚀刻液以及蚀刻时间所控制。图式简单说明:第1图至第8图为本发明之蚀刻法的实施例制程步骤示意图。