发明名称 | 激光刻版装置 | ||
摘要 | 一种激光刻版装置,包括一激光光源、一光圈、一光学构件以及一承载元件;其中光圈具有一非圆形开口,以便激光光源发出的激光光束经过光圈的非圆形开口后,形成非圆柱状的激光光束射至光学构件,光学构件将非圆柱状的激光光束以非圆点聚焦于承载元件所承载的一基板上。 | ||
申请公布号 | CN2551389Y | 申请公布日期 | 2003.05.21 |
申请号 | CN02233302.9 | 申请日期 | 2002.04.26 |
申请人 | 精碟科技股份有限公司 | 发明人 | 黄建智;邱昌模 |
分类号 | B23K26/00 | 主分类号 | B23K26/00 |
代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 黄志华 |
主权项 | 1、一种激光刻版装置,包含一用以发出一激光光束的激光光源、一光圈、一光学构件、及一用以承载一基板的承载元件,其特征在于:该光圈具有一非圆形开口,以便该激光光束经过该光圈后形成一非圆柱状激光光束,该光学构件将该非圆柱状激光光束以非圆点聚焦于该基板上。 | ||
地址 | 台湾省台北县 |