用于扩散粘接靶和背板的方法

摘要

本发明包括用于使第一物质和第二物质连接的方法。提供第一材料的第一物质和第二材料的第二物质，并在物理接触下使其彼此相连。此时第一和第二物质被相互扩散粘接，同时在第二物质中产生第二材料的颗粒。所述扩散粘接包括在第一物质和第二物质之间的固态扩散。在第二材料中产生的颗粒的主要部分具有小于100微米的最大尺寸。本发明还包括一种用于形成和背板相连的物理蒸汽淀积靶的方法。

主权项

1.一种用于使第一物质和第二物质粘接的方法，包括：提供第一材料的第一物质和第二材料的第二物质；使所述第一物质和第二物质在物理接触下彼此相连；以及同时使所述第一和第二物质相互扩散粘接和在第二物质中产生第二材料的颗粒，所述扩散粘接包括在第一物质和第二物质之间的固态扩散，产生的颗粒的主要部分具有小于100微米的最大尺寸。