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发明名称 METHOD FOR PREVENTING DAMAGE TO WAFERS IN A SEQUENTIAL MULTIPLE STEPS POLISHING PROCESS
摘要
申请公布号 EP1312112(A2) 申请公布日期 2003.05.21
申请号 EP20010978288 申请日期 2001.08.20
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 DUNTON, SAMUEL;LIANG, VICTOR;ZHANG, LIMING
分类号 B24B1/00;B24B37/04;B24B49/03;B24B49/12;H01L21/304;H01L21/3105;(IPC1-7):H01L21/66;H01L21/310 主分类号 B24B1/00
代理机构 代理人
主权项
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