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发明名称
LOW TEMPERATURE PROCESSING OF FERROELECTRIC STRONTIUM BISMUTH TANTALATE LAYERS AND THE PRODUCTION OF FERROELECTRIC COMPONENTS THEREOF
摘要
申请公布号
EP1312107(A1)
申请公布日期
2003.05.21
申请号
EP20010962657
申请日期
2001.08.14
申请人
INFINEON TECHNOLOGIES AG
发明人
BACHHOFER, HARALD;HANEDER, THOMAS;SPINDLER, OSWALD;WASER, RAINER
分类号
H01L21/02;H01L21/314;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/02
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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