阿贝误差校正系统及方法

摘要

本发明较佳为运用非接触式、小位移、电容性的传感器(124、128、130、131、132)以决定归由于一接近线性机械级(56、58)的俯仰(20)、偏航(22)、或滚转(18)所引起的阿贝(Abbe)误差，其未被诸如线性比例编码器或激光干涉计的一轴上位置指示器所指出。此系统以精密参考标准所校准，以使该校正仅取决于传感器读数的小改变而与传感器读数的绝对准确度无关。虽然本发明较佳为使用于具有惯性分离级(56、58)的分裂轴定位系统(50)，本发明亦可使用于典型的分裂轴或叠层级系统以降低其制造成本。

主权项

1.一种定位系统，用以响应于定位指令而将工具定位相对于工件上的目标位置，包含：一慢定位器，以使工具与工件之间作大范围的相对移动，该慢定位器包括能够概括沿着一轴移动的平移级；一快定位器，以使工具与工件之间作小范围的相对移动：一定位信号处理器，以自定位指令而得出慢及快移动控制信号：一慢定位器驱动器，以控制平移级的大范围相对移动，以响应于慢移动控制信号；一快定位器驱动器，以控制快定位器的小范围相对移动，以响应于快移动控制信号；一对空间相隔的位移传感器，其与快定位器驱动器相连通并耦接以与该平移级沿着轴移动：及一参考表面，位于该平移级附近并与轴平行，该平移级能够沿着参考表面移动，且该位移传感器能够取得关于其自参考表面的相对距离的信息，并将该信息传输至快定位器驱动器，以校正关连于该平移级的离轴或旋转运动的阿贝误差。