发明名称 SUBSTRATE PLACING METHOD, AND CATCHER USED THEREFOR
摘要
申请公布号 JP2003145466(A) 申请公布日期 2003.05.20
申请号 JP20010346026 申请日期 2001.11.12
申请人 DAINIPPON PRINTING CO LTD 发明人 KUROSAWA HIDE
分类号 B25J13/00;B25J15/08;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):B25J13/00 主分类号 B25J13/00
代理机构 代理人
主权项
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