| 发明名称 |
CASSETTE CLEANING DEVICE AND CASSETTE TRANSPORT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JP2003145084(A) |
申请公布日期 |
2003.05.20 |
| 申请号 |
JP20010353445 |
申请日期 |
2001.11.19 |
| 申请人 |
FUJITSU DISPLAY TECHNOLOGIES CORP |
发明人 |
KITANO MASARU;OTA YUICHIRO |
| 分类号 |
G02F1/13;B08B9/22;B08B11/02;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):B08B9/22 |
主分类号 |
G02F1/13 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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