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发明名称
摘要
申请公布号	JP3408019(B2)	申请公布日期	2003.05.19
申请号	JP19950144880	申请日期	1995.06.12
申请人		发明人
分类号	H01L27/04;H01L21/822;(IPC1-7):H01L21/822	主分类号	H01L27/04
代理机构		代理人
主权项
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