| 发明名称 |
Electrochemical mechanical processing with advancible sweeper |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2002363479(A1) |
申请公布日期 |
2003.05.19 |
| 申请号 |
AU20020363479 |
申请日期 |
2002.11.04 |
| 申请人 |
NUTOOL, INC. |
发明人 |
HOMAYOUN TALIEH;HALIT N. YAKUPOGLU;CYPRIAN E. UZOH;BULENT M. BASOL |
| 分类号 |
B24B7/22;B24B21/04;B24B37/04;C25D5/22;C25D7/12;C25F3/30;H01L21/288;H01L21/304;H01L21/768;(IPC1-7):B24B21/04 |
主分类号 |
B24B7/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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