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发明名称 SUBSTRATE CARRIER AND METHOD FOR CARRYING SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JP2003142560(A) 申请公布日期 2003.05.16
申请号 JP20010296145 申请日期 2001.09.27
申请人 SONY CORP 发明人 ETO SUMIO
分类号 B25J15/08;B65G49/07;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B25J15/08
代理机构 代理人
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